硅烷化學氣相沉積法是一種具有競爭力的多晶硅生產方法，其能耗及原料消耗指標達到國際先進水平。該方法實現(xiàn)了多晶硅生產工藝閉路循環(huán)，中間物料如四氯化硅、二氯二氫硅可循環(huán)利用，具有轉化率高、能耗低、成本低、污染少等優(yōu)點。
2012年7月，黃河公司開始進行硅烷法多晶硅生產工藝研究科技項目研究工作，通過對硅烷制備和硅烷法生產多晶硅的主要技術的研究并結合公司現(xiàn)有多晶硅裝置情況，對硅烷法的工藝物料、輔助系統(tǒng)、自控儀表、安全、三廢處理、裝置布置、人員配備、項目工期、操作模式和投資效益估算等進行了詳細的研究，最終完成了硅烷法多晶硅生產工藝研究科研項目。
